【特徴】
・純水(電気伝導率0.10mS/m以上)、シリコンオイル(液温10℃ 粘土10mPa・S以下)を循環できます。
・配管内にイオン交換樹脂を通して徹底した水質管理が必要とされる用途に適しています。
・不活性で電気絶縁性が高いシリコンオイル、バーレルシリコンフルードが循環でき、静電気を嫌う循環先、半導体製造装置の温度管理に適します。
【仕様】
アズワン番号:63-1394-63
・純水(電気伝導率0.10mS/m以上)、シリコンオイル(液温10℃ 粘土10mPa・S以下)を循環できます。
・配管内にイオン交換樹脂を通して徹底した水質管理が必要とされる用途に適しています。
・不活性で電気絶縁性が高いシリコンオイル、バーレルシリコンフルードが循環でき、静電気を嫌う循環先、半導体製造装置の温度管理に適します。
【仕様】
型式 | CA-2600F |
冷却循環方式 | 空冷・密閉系向循環 |
対応循環水 | 上水 純水(電気伝導率0.01mS/m以上) シリコンオイル バーレルシリコンフルード M2型 エチレングリコール ナイブライン |
温度調節範囲 | 10℃~35℃(ヒータ無し) |
温度調節精度 | ±2℃ |
冷却能力 | 3000W(at 20℃) 2500W(at 10℃) |
外部循環能力 | 最大流量:13.5/16L/min(50/60Hz) 最大揚程:10/14m(50/60Hz) |
温度制御 | キャピラリーチューブ能力切り換え制御 冷凍機ON-OFF制御 |
温度設定 | シートキー入力(最小桁:1℃) |
温度表示 | デジタル表示 |
安全機能 | 漏電・過電流ブレーカ オーバーロードリレー保持回路 冷凍機高圧圧力スイッチ 冷凍機保護タイマ 温調器自己診断機能 循環ポンプサーマルプロテクター |
付属機能 | 温度表示補正機能 緊急停止ボタン 流量ストップバルブ バイパスラインセット(オプション) |
外入部出力 | アラーム出力端子:無電圧a接点 AC250V/DC30V 最大3A 遠隔操作入力端子:無電圧接点 |
冷凍機 | 空冷式 出力1.1kW |
冷媒 | R407C |
冷却コイル | SUS304 |
外部循環ノズル | 吐出口、戻り口共(Rc3/8) 外径14mmホース口 |
水槽 | 内径280×H270mm 材質:SUS304 容量:約16.5L(液量:12.5L) |
使用可能温度範囲 | 5~35℃ |
外寸法 | W450×D515×H1236mm |
質量 | 約113kg |
電源入力 | 11A 2.2kVA |
電源電圧 | AC200V 単相 50/60Hz |
電源ユーティリティ | AC200V 単相 15A容量 |
アズワン番号:63-1394-63