クリーンルームでの使用に最適な水冷式一体型のベースモデル。
冷凍機出力18kWまでのワイドラインナップのほか、ご要望に応じてカスタマイズ致します。
・クリーンルームにも最適な水冷式一体型
・ご要望によりカスタマイズ可能
・冷凍機出力18kW以上での製作も可能
【用途】
・半導体部品の加工ステージの温度管理
【仕様】
| 型名 | CH-6000W | CH-7500W | CH-9000W | CH-11000W | CH-15000W | CH-18000W | |
| 使用温度範囲 | ＋5℃～＋25℃ | ||||||
| 温度調節精度※1 | 冷凍機ON-OFF制御、±2.0～3.0℃ | ||||||
| 冷却能力※2 （50/60Hz、循環液温：＋20℃） |
22.8[kW]/ 24.4[kW] | 27.4[kW]/ 29.2[kW] | 31.9[kW]/ 34.1[kW] | 40.4[kW]/ 43.1[kW] | 46.4[kW]/ 49.0[kW] | 57.4[kW]/ 60.3[kW] | |
| 冷凍機（水冷式）出力/冷媒 | 6.0kW、R407C | 7.5kW、R407C | 9.0kW、R407C | 11.2kW、R407C | 7.5kW×2、R407C | 9.0kW×2、R407C | |
| ポンプ能力（50/60Hz）※3 | 最大吐出出力 | 0.32[Mpa] /0.45[Mpa] | 0.33[Mpa] /0.47[Mpa] | お問い合わせください | |||
| 流量 | 40[L/min]/ 110[L/min] | 83[L/min]/ 140[L/min] | お問い合わせください | ||||
| モーター出力 | 0.77[kW]/ 1.2[kW] | 1.02[kW]/ 1.69[kW] | お問い合わせください | ||||
| 安全器/安全機能 | 漏電/過電流ブレーカ－、過負荷防止、高低温、冷媒高低圧、圧縮機過熱防止、反相リレー、冷凍機過熱防止、水位低下、安全器作動モニター | ||||||
| 水槽容量（80％水位時） | 280L | 315L | お問い合わせください | ||||
| 所要一次冷却水量※4 （冷却水温度：＋25℃/＋34℃） |
50[L/min]/ 64[L/min] | 57[L/min]/ 74[L/min] | 75[L/min]/ 112[L/min] | お問い合わせください | |||
| 配管接続口径（循環液出入口、一次冷却水出入口） | Rc 1-1/4、Rc1-1/4 | お問い合わせください | |||||
| 外形寸法 | 756×1020×1581Hmm | 1107×823×1882Hmm | お問い合わせください | ||||
| 本体質量 | お問い合わせください | ||||||
| 電源/運転電流 | 三相AC200V・50/60Hz | ||||||
※2：循環温度が＋30℃以下での能力です。
※3：循環液に清水を使用した場合の能力です。流量は吐出圧力が0.1MPaの時の値です。
※4：所要冷却水流量はその温度によって増減します。
温度が高いときに流量が増加されない場合は不具合の発生する原因となりますので、ご注意ください。
・水冷式は冷凍機用の一次冷却水を必要としますので、所定流量が確保できることをご確認ください。
・標準品は循環液に純水を使用できません。
・循環液に水処理剤などを添加する場合はご相談ください。