| 製品名 |
| 自動薄膜計測装置 Auto SE 概算価格：￥16,750,000～ |
薄膜（膜厚）測定で、より簡単に最大の効果を
新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果を
レポート形式にて提供いたします。
"Auto SE"は、自動XYZステージ・測定箇所の実時間画像・マイクロスポットが標準搭載されております。
加えて、トラブルシューティングとして、包括的な操作指示によって、問題の検出が可能な診断指標を内蔵しております。
簡易操作ができ、多くの自動化機能を有する"Auto SE"は、ルーチン的な薄膜測定からデバイスの品質管理までの
幅広い用途にご使用いただけます。
【特徴】
・簡単操作を実現した日本語ソフトウェアを搭載、プッシュボタン感覚で、測定からレポートまでを完全自動化
・電動で可変する7種類のマイクロスポットを標準搭載
・微小な領域の測定が可能
・CCD検出器による高速測定
・試料ビジョンシステム"MyAutoView"により、様々な表面やパターンを有する薄膜材料の試料表面および測定スポット位置
を観察でき、容易に測定位置を決定。
さらに表面の汚れやコンタミを避けた位置での測定が可能
・電動XYZステージにより、面内高速マッピング測定を実現
・ワンクリックで測定から面内分布レポート（2D,3Dなど）まで完全自動化
【仕様】
| 波長範囲 | 450～1000nm |
| 測定膜厚範囲 | 1nm～15μm ※膜種や構造によって異なる |
| スポット径 | 500μm角、100μm角、25×60μm角 他（at 70°） |
| ステージ | 電動、ストローク200mm（X,Y）、30mm（Z) |
| 入射角度 | 70°固定（66°固定選択可能） |
| オプション | Xeランプユニット |
| アクセサリ | 回転ステージ 液体測定セル など |