| 製品名 |
| 薄膜計測装置 Smart SE 概算価格：￥13,000,000～ |
【商品概要】
・プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。・波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数（屈折率、消衰係数）などの物質特性を
精度良く測定します。
・誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。
・イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。
【特徴】
・簡単操作を実現した日本語ソフトウェアを搭載、プッシュボタン感覚で、測定からレポートまでを完全自動化
・電動で可変する7種類のマイクロスポットを標準搭載
・微小な領域の測定が可能
・CCD検出器による高速測定
・試料ビジョンシステム"MyAutoView"により、様々な表面やパターンを有する薄膜材料の試料表面および測定スポット位置
を観察でき、容易に測定位置を決定。
さらに表面の汚れやコンタミを避けた位置での測定が可能
・場所を取らないコンパクトサイズ
・多彩なオプションで仕様を自由に選択・性能を拡張
【仕様】
| 波長範囲 | 450～1000nm |
| 測定膜厚範囲 | 1nm～15μm ※膜種や構造によって異なる |
| スポット径 | 500μm角、150μm角、75×150μm角 他（at 70°） |
| ステージ | 固定、高さ17mm手動可変 |
| 入射角度 | 70°固定（45～90°、5°刻みで手動変更可能） |
| オプション | 電動ゴニオメータ（可変範囲：45度-90度） In-situ測定用アダプタ 電動XYステージ（200mm,300mmウエハ対応） |